自動化設備設計開發

真空平台

供酸系統設計

強酸鹼溶液自動化清洗設備

移動式乾冰噴砂清洗作業自動回收設備





真空平台:搭配加熱及旋轉等機構,用作晶圓清潔、晶圓撕膠作業、晶圓重工業作業。

8吋真空加熱平台
12吋真空加熱平台
晶圓撕膠拉力量測

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供酸系統設計:具除氣泡及稱重功能,依據客戶需求客製化設計開發。


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強酸鹼溶液自動化清洗設備

王水實驗機

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移動式乾冰噴砂清洗作業自動回收設備

X、Y軸自動噴砂機

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其他

PANASONIC 32P AUTO MOVE
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